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      1. 首页 服务项目 > 特气管道五项检测
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        氦检漏测试

        产品描述:

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        因氦气的分子非常小,可侦测出非常小之漏点,如果说保压测试是测大漏,氦测漏则是测小漏,在庄达人所著的VLSI制造技术一书中提到(气体管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送气)如此才不会造成危险。

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